在激光材料加工中,激光器系統(tǒng)是產生激光束(熱源)的關鍵部件之一。本章主要介紹激光材料加工中常用的固體激光器、CO2激光器等幾種激光器系統(tǒng)。目前用于激光加工的固體激光器通常是摻釹釔鋁石榴石激光器(簡稱NdYAG激光器),釹玻璃激光器和紅寶石激光器等,氣體激光器通常是CO2激光器和準分子激光器。
1960年問世的第一臺激光器就是固體紅寶石激光器。50多年來,固體激光器得到迅速的發(fā)展。目前,能產生激光的工作物質達數(shù)百種,單脈沖輸出能量高達上萬焦耳,平均輸出功率已超過千瓦,最大峰值功率為幾十太瓦,并不斷向更高功率發(fā)展。
固體激光器以其獨特的優(yōu)越性在材料加工中獲得廣泛的應用,其優(yōu)點主要如下。
1?輸出光波波長較短。紅寶石激光器輸出波長為6943nm:摻釹釔鋁石榴石及釹玻璃
激光器的輸出波長為106um,比CO激光器低一個數(shù)量級。另外,固體激光器的輸出波長多在可見光區(qū)段或近紅外光區(qū)段,很容易用某些晶體倍頻獲得可見光甚至紫外光波段光波。
對于大多數(shù)材料,激光波長越短,吸收率越大,在加工工件時,固體激光器所需的平均功率
比用CO2激光器時要小。固體激光器輸出較易使用普通光學元件傳遞。對于波長為
2?固體激光器輸出較易使用普通光學元件傳遞。對于波長為106μm的近紅外光,還可用光纖傳輸,具有方便靈活的特點。
3?結構緊湊、牢固耐用、使用維護比較方便,價格也比氣體激光器低。
固體激光器的這些優(yōu)越性使其在激光打孔、焊接、表面工程和半導體加工技術中得到廣泛應用。
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